-
Kính thạch anh quang học
-
Gia công kính thạch anh
-
Ống thủy tinh thạch anh
-
Ống mao dẫn thạch anh
-
Ống thủy tinh borosilicate
-
Thanh thủy tinh thạch anh
-
Phụ tùng Laser
-
Mục tiêu phún xạ Silicon Dioxide
-
Thiết bị thạch anh
-
Tấm kính thạch anh
-
Bộ phận kính tùy chỉnh
-
Bộ phận gốm tùy chỉnh
-
Thiết bị sản xuất quang học
-
Máy làm nắp kính di động
-
Dụng cụ đo quang học
-
tinh thể quang học
Thang đo tiêu chuẩn Quartz tấm thủy tinh Ultra cao phẳng cho 9 inch Wafer
| Vật liệu | Kính thạch anh | Kích thước wafer tương thích | 9 inch |
|---|---|---|---|
| Độ phẳng | độ chính xác cực cao | Sức chịu đựng | Dung sai kích thước chặt chẽ |
| Hoàn thiện bề mặt | Đánh bóng chính xác | Mức độ căng thẳng | Căng thẳng nội bộ thấp |
| Ứng dụng | Hiệu chuẩn wafer bán dẫn, in thạch bản, máy dò, thiết bị quang học | ||
| Làm nổi bật | Bảng kính thạch anh kích thước tiêu chuẩn,Bảng thủy tinh thạch anh siêu phẳng,9 Inch Wafer Quartz Glass Plate |
||
9 inch Wafer Calibration Quartz Glass Sheet với độ phẳng cực cao
Bảng kính thạch anh 9 inch này là một tiêu chuẩn hiệu chuẩn thiết bị bán dẫn chính xác cao được thiết kế với độ phẳng cực cao và dung nạp kích thước chặt chẽ.nó phù hợp với các thông số kỹ thuật wafer 9 inch tiêu chuẩn cho xác minh thiết bị hàng ngày trong lithography, máy thăm dò, kiểm tra AOI và các ứng dụng đo quang học.
Các thông số sản phẩm
| Parameter | Thông số kỹ thuật |
|---|---|
| Vật liệu | Quartz Glass |
| Kích thước Wafer tương thích | 9 inch |
| Phẳng | Độ chính xác cực cao |
| Sự khoan dung chiều | Sự khoan dung chặt chẽ |
| Xét bề mặt | Sơn chính xác |
| Tài sản quang học | Đồng đều, ít căng thẳng |
| Sự ổn định nhiệt | Sự biến dạng nhiệt tối thiểu |
| Chống hóa chất | Chống rửa hóa học thường xuyên |
| Sự ổn định kích thước | Thường sử dụng lâu dài |
Các đặc điểm chính
- Độ phẳng cực cao ️ bề mặt được đánh bóng chính xác với dung sai độ phẳng cực kỳ chặt chẽ, đảm bảo kết quả hiệu chuẩn đáng tin cậy cho thiết bị bán dẫn.
- Tài sản quang học đồng nhất¢ Chuyển tải quang học nhất quán trên toàn bộ bề mặt tấm, lý tưởng cho AOI và hiệu chuẩn hệ thống kiểm tra dựa trên thị giác.
- Áp lực bên trong thấp️ Sự biến dạng nhiệt tối thiểu và biến dạng do căng thẳng, duy trì sự ổn định kích thước trong các điều kiện môi trường khác nhau.
- Chống hóa chất làm sạchKháng kháng các dung môi làm sạch bán dẫn tiêu chuẩn, giữ chất lượng bề mặt sau nhiều chu kỳ làm sạch.
- Sự ổn định lâu dài- Tiêu chuẩn hiệu chuẩn chuyên dụng được thiết kế để sử dụng hàng ngày lặp đi lặp lại mà không bị suy giảm độ chính xác theo thời gian.
Ứng dụng
1. Kiểm tra Wafer bán dẫn
Bảng tham chiếu chính cho kích thước wafer 9 inch, tính phẳng và kiểm tra warp. Là tiêu chuẩn hiệu chuẩn hàng ngày cho thiết bị kiểm tra quang học wafer AOI,thống nhất độ chính xác phát hiện trên các dòng sản xuất.
2. Phương pháp in và đóng gói
Điểm chuẩn sắp xếp cho máy lithography và các máy kết dính.
3Thiết bị thử nghiệm máy thử nghiệm
Bảng tham chiếu để hiệu chuẩn tọa độ trạm thăm dò và xác minh tính phẳng của nền tảng, đảm bảo độ chính xác kiểm tra điện wafer chính xác trong sản xuất bán dẫn.
4. Phòng thí nghiệm hiệu chuẩn quang học
Kính hiệu chuẩn cho máy đo thị giác và máy kiểm tra đường viền, được sử dụng để xác minh độ chính xác thiết bị thông thường trong các phòng thí nghiệm đo lường.
Ưu điểm so với thủy tinh thông thường & Bảng thạch anh thông thường
Không giống như các tấm thủy tinh thông thường và các tấm thạch anh thông thường, tấm thủy tinh thạch anh cấp độ hiệu chuẩn này có bề mặt được đánh bóng chính xác với độ khoan dung phẳng được kiểm soát chặt chẽ.Nó thể hiện biến dạng nhiệt tối thiểu và duy trì độ chính xác ổn định sau khi làm sạch hóa học lặp đi lặp lại, bộ phận hiệu chuẩn công nghiệp được thiết kế đặc biệt cho môi trường sản xuất bán dẫn.

