Các bộ phận thủy tinh tùy chỉnh hình tròn Chất nền thạch anh hợp nhất với sáu bề mặt đáy

Các bộ phận thủy tinh tùy chỉnh hình tròn Chất nền thạch anh hợp nhất với sáu bề mặt đáy

Chất nền thạch anh nung chảy hình tròn này có sáu bề mặt đáy được gia công chính xác, được thiết kế để xử lý màng mỏng bán dẫn và quang học. Với đường kính 15mm nhỏ gọn và khả năng mài mịn hai mặt, cấu trúc trùm tích hợp nâng lớp nền ra khỏi bề mặt vật mang, loại bỏ ô nhiễm vùng tiếp xúc và đảm bảo hiệu suất phủ đồng đều.

Thông số sản phẩm

Các tính năng chính

• Gia công chính xác tích hợp– Sáu đế dưới được gia công từ một phôi thạch anh nung chảy duy nhất, đảm bảo chiều cao trùm nhất quán và độ chính xác về vị trí để mang lại hiệu suất bề mặt đáng tin cậy.
• Cấu trúc thang máy của ông chủ– Các trùm nhô ra tạo ra khe hở giữa chất nền và chất mang, ngăn cản sự tiếp xúc của chất kết dính, chất lỏng đọng lại và lớp phủ không đồng đều trong quá trình lắng đọng.
• Mài mịn hai mặt– Cả hai bề mặt trên và dưới đều được mài chính xác để có độ phẳng vượt trội, đảm bảo lắng đọng màng mỏng đồng đều trên toàn bộ diện tích bề mặt.
• Nhiệt độ cao và kháng hóa chất– Chất liệu thạch anh nung chảy chịu được môi trường xử lý nhiệt độ cao và chống lại các hóa chất làm sạch chất bán dẫn tiêu chuẩn mà không bị suy giảm.
• Căng thẳng thấp và ổn định– Ứng suất bên trong tối thiểu với độ ổn định kích thước tuyệt vời, duy trì dung sai chính xác thông qua chu kỳ nhiệt lặp đi lặp lại.

Ứng dụng

1. Lớp phủ bán dẫn

Chất nền mang lớp phủ chip và wafer. Sáu đế dưới treo lơ lửng chất nền phía trên tấm mang, đảm bảo lắng đọng màng đồng đều mà không bám dính vào tấm đế—cải thiện năng suất quy trình và độ lặp lại.

2. Sự bay hơi quang học

Tấm cố định phủ chân không cho các bộ phận quang học. Cấu trúc trùm giúp ngăn ngừa trầy xước bề mặt đáy và tích tụ chất lỏng còn sót lại, duy trì chất lượng bề mặt quang học trong quá trình phủ nhiều lớp.

3. Thiêu kết nhiệt độ cao trong phòng thí nghiệm

Bệ đỡ mẫu bột để thiêu kết ở nhiệt độ cao. Khoảng trống thông gió được tạo ra bởi các phần trùm giúp thúc đẩy sự phân bổ nhiệt đều trên toàn bộ mẫu, ngăn chặn hiện tượng quá nhiệt cục bộ.

4. Bao bì linh kiện quang điện tử

Chất nền liên kết và định vị chính xác cho các thành phần quang điện tử. Các phần nhô ra đóng vai trò là ranh giới hạn chế chất kết dính, kiểm soát độ dày của đường liên kết để có chất lượng lắp ráp ổn định.

Ưu điểm so với chất nền phẳng

So với các bề mặt phẳng thông thường, cấu trúc nâng cao sáu cạnh ngăn cản sự tiếp xúc toàn bộ bề mặt với tấm đỡ. Điều này giúp loại bỏ các điểm mù của lớp phủ, giảm độ bám dính và dính của phôi, đồng thời cải thiện đáng kể năng suất sản xuất. Kết hợp với khả năng kháng hóa chất và nhiệt độ cao của thạch anh nung chảy, chất nền này mang lại hiệu suất đáng tin cậy cho các môi trường sản xuất chất bán dẫn và quang học đòi hỏi khắt khe.