Tấm kính thạch anh hiệu chuẩn wafer dày 9 inch chịu nhiệt độ cao

Bảng kính hiệu chuẩn wafer dày 9 inch là một nền tham chiếu quang học chính xác được thiết kế để kiểm tra kích thước, ngoại hình và tính phẳng của wafer bán dẫn.Sản xuất từ thủy tinh silica nóng chảy hoặc thủy tinh borosilicate không kiềm, tấm hiệu chuẩn này phù hợp với kích thước wafer 9 inch tiêu chuẩn trong khi cung cấp một cấu trúc dày tùy chỉnh chống uốn cong và cong trong các chu kỳ kiểm tra lặp đi lặp lại.Các bề mặt đánh bóng cực chính xác hai mặt mang lại độ phẳng và song song cấp quang học, cung cấp một đường cơ sở hình học ổn định cho các hệ thống kiểm tra quang học tự động.tấm đảm bảo rằng dữ liệu đo lường vẫn phù hợp và có thể lặp lại trong các đợt sản xuất dài, làm cho nó trở thành một công cụ thiết yếu cho việc chế tạo wafer, sắp xếp lithography và các ứng dụng đo hình ảnh quang học.

• Cấu trúc dày để cứng:Bảng củng cố tránh cong và biến dạng trong quá trình kiểm tra, cung cấp dữ liệu hiệu chuẩn ổn định và lặp lại.
• Sơn quang cực chính xác hai mặt:Bề mặt không có vết trầy xước, hố, bong bóng và đá, với độ phẳng và song song quang học.
• Độ truyền cao đồng nhất từ tia UV đến ánh sáng nhìn thấy được:Chất nền tinh khiết cao giảm thiểu sự can thiệp ánh sáng lạc và hoàn toàn tương thích với thiết bị kiểm tra quang học tự động AOI.
• Tỷ lệ mở rộng nhiệt thấp:Sự biến dạng tối thiểu dưới sự thay đổi nhiệt độ giữ cho hình học tham chiếu ổn định và vật liệu chống lại các dung dịch làm sạch axit và kiềm.
• Các cạnh châm chính xác:Các cạnh không bị nứt bảo vệ các tấm và ống kính kiểm tra khỏi bị trầy xước trong khi xử lý và tải.

Bảng kính hiệu chuẩn Wafer dày 9 inch phục vụ như một tài liệu tham khảo quang học linh hoạt trong môi trường sản xuất và kiểm tra bán dẫn.Nó được sử dụng rộng rãi cho 9 inch silicon wafer kích thước hiệu chuẩn, cung cấp một tiêu chuẩn hình học đáng tin cậy để xác minh độ chính xác của các công cụ đo lường.bề mặt cấp quang hoạt động như một đường chuẩn tham chiếu đáng tin cậy để so sánh sự đồng nhất bề mặt và phát hiện độ lệchBảng cũng hoạt động như một chất mang tiêu chuẩn cho các thiết bị đo hình ảnh quang học, hỗ trợ vị trí nhất quán trong quá trình phân tích kích thước.nó hoạt động như một tấm hiệu chuẩn sắp xếp giúp duy trì chính xác đăng ký mẫuNgoài ra, tấm được sử dụng làm cơ sở cố định để kiểm tra khiếm khuyết bề mặt wafer, cung cấp một nền tảng phẳng, ổn định và không bị ô nhiễm cho các hệ thống phát hiện khiếm khuyết tự động.

• Bảng dày chống uốn cong:Cấu trúc được tăng cường ngăn chặn sự dịch chuyển tham chiếu trong quá trình kiểm tra khối lượng lâu dài, giữ cho kết quả hiệu chuẩn đáng tin cậy sau mỗi lần thay đổi.
• Vật liệu tinh khiết cao mà không có trầm tích:Các chất nền sạch không thải ra chất gây ô nhiễm, bảo vệ các tấm khỏi ô nhiễm trong quá trình kiểm tra tiếp xúc.
• Tùy chỉnh đầy đủ có sẵn:Độ dày, lớp phủ quang học, đánh dấu quy mô sắp xếp, nhọn và khoan đều có thể được điều chỉnh theo yêu cầu của khách hàng.
• Sự nhất quán đơn lẻ cao:Kiểm soát sản xuất chặt chẽ đảm bảo các tấm có thể được thay thế trên nhiều máy kiểm tra có hiệu suất giống hệt nhau.